高分辨率MEMS纤毛式湍流传感器

作者：申玮; 张文君; 廉宇琦; 张**; 杨华; 薛晨阳; 王任鑫^*

来源：微纳电子技术, 2019, 56(11): 911-924.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2019.11.007

• 纤毛
• 高分辨率
• 微电子机械系统(MEMS)
• 湍流传感器
• 压电

国外的剪切流传感器已经趋于成熟,但仍存在测试信息量单薄、空间分辨率不高和价格昂贵的缺点。提出了一种新型高分辨率微电子机械系统(MEMS)湍流传感器,通过MEMS工艺的微结构实现湍流传感器的高分辨率探测,同时凭借Parylene真空气相沉积技术来实现传感器在海中的绝缘性和抗腐蚀性。经过5～45℃的高低温循环实验,验证了MEMS湍流传感器在复杂环境中的可靠性,并通过实验测量得到电压形式的湍流数据。

• 单位
  中国海洋大学; 中北大学