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摘要
为了在微电子技术和超精密加工技术等高新技术中实现纳米位移实时监测，设计了圆偏振光干涉纳米位移测量系统。首先简述了圆偏振光干涉原理和实验系统组成，搭建了圆偏振光干涉的实验光路和硬件探测系统；其次构建了LabVIEW控制的纳米测量软件系统，包括连续数据采集、基于最小二乘法的误差修正和改进正切查表算法的解调细分与位移辨向；最终实现了LabVIEW控制干涉信号的实时采集、误差修正、细分解调、方向辨识为一体的实时位移测量系统。实验获得了误差修正后的校正圆曲线及解调细分后含方向的位移变化量。该工作将单频激光干涉技术与圆偏振光干涉技术相结合，解决了常见的双频激光干涉测量结构复杂且成本较高以及单频激光干涉测量无法辨向的问题。
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单位中南民族大学; 电子信息工程学院
