一种制备均匀薄膜的装置

作者：董佳敏; 谢旭婷; 李春兴; 欧容秀; 李俊岐; 林艳萍; 杨文宇^*

来源：中国科技信息, 2021, (20): 76-77.

• 玻璃基片
• 氧化物薄膜
• 支撑平台
• 操控台

本文设计了一种基于提拉形式的新型制备均匀半导体氧化物薄膜装置。该装置主要由防抖转动螺旋仪、操控台、若干可转动的细杆以及载物支撑平台等元件组成。防抖转动螺旋仪可实现载物支撑平台上下移动的平稳性,使得液体均匀覆盖在基片表面,从而确保半导体氧化物薄膜制备的均匀性。

• 单位
  数理学院; 宁德师范学院