高深宽比沟槽标准样板的设计与表征

作者：陈雅晴; 管钰晴; 邹文哲; 赵琳; 梁法国; 孔明; 陈凯晴; 傅云霞; 雷李华^*

来源：微纳电子技术, 2022, 59(12): 1375-1382.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2022.12.018

• 高深宽比
• 标准样板
• 测量系统
• 溯源性
• 三维结构

针对高深宽比三维结构无损测量系统的量值溯源难点，开发并设计了最大深宽比为30∶1,宽度为2～30μm,深度为10～300μm的一系列具有循迹结构、可快速定位功能的高深宽比沟槽标准样板。采用计量型扫描电子显微镜(SEM)对制备的高深宽比沟槽标准样板进行参数表征与溯源性分析。结果表明标称宽度2μm、标称深度60μm的高深宽比沟槽标准样板，其实际宽度测量结果为(2.191±0.008)μm,实际深度测量结果为(59.923±0.040)μm。对于标称宽度30μm、标称深度200μm的标准样板，其实际宽度测量结果为(29.721±0.112)μm,实际深度测量结果为(200.343±0.220)μm,并实现了近红外光谱型高深宽比三维结构测量系统高精密的校准。实验结果表明：设计的高深宽比沟槽标准样板是一种理想的高深宽比沟槽标准样板。

• 单位
  中国电子科技集团公司第十三研究所; 中国计量大学; 上海市计量测试技术研究院