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介质阻挡放电离子源的研究进展
作者:崔文凯; 陈茂兴
来源:
河南科技
, 2019, (11): 128-130.
介质阻挡放电
离子源
电极
摘要
介质阻挡放电离子源在质谱分析领域具有广泛应用。介质阻挡放电离子源的电极结构对离子源中放电区域以及等离子体束的长度有着密切的关联。本文梳理了介质阻挡放电离子源的重要专利技术,并给出了技术发展路线图。
单位
国家知识产权局
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