专栏征文

来源：固体电子学研究与进展, 2021, 41(02): 160.

DOI：10.19623/j.cnki.rpsse.2021.02.015

<正>三维集成射频微系统是微电子、光电子、微机电系统等多学科的综合应用,为展示三维集成射频微系统的技术发展及提供交流学习的平台,本刊特设"三维集成射频微系统"专栏进行征文。专栏征文内容主要为(包括但不限于):1、三维集成射频微系统元器件、材料、模型的基础研究2、三维集成射频微系统的制造工艺