溶胶-凝胶法制备PZT薄膜研究进展

作者：刘立崴; 周闯; 丁江^*

来源：压电与声光, 2021, 43(04): 566-572.

• 微机电系统
• 铁电薄膜
• 铁电性能
• PZT薄膜
• 溶胶-凝胶法

随着微机电系统(MEMS)产业的快速发展,铁电薄膜材料作为微机电器件的重要组成部分而愈受重视。锆钛酸铅(PZT)薄膜具有优越的压电性、热释电性及光电性等性能,在微电子、压电、光学及半导体等领域展现了巨大的应用潜力。因此,高性能PZT薄膜的制备技术及制备工艺一直备受关注。其中,溶胶-凝胶法因具有易于控制成分,所需设备成本低及制备薄膜的均匀性好等优点而被广泛用于PZT薄膜制作中。该文在溶胶-凝胶法基本原理及制作工艺的基础上,着重分析了溶胶-凝胶法制备PZT薄膜的研究现状,总结了当前溶胶-凝胶法的技术特点,并指出了研究中存在的不足及未来的潜在改进方向。

• 单位
  广西大学; 中国电子科技集团公司第二十六研究所