微细加工技术的发展及应用

作者：李建勋; 胡晓兵; 杨洋

来源：现代机械, 2007, (04): 76-78.

DOI：10.3969/j.issn.1002-6886.2007.04.033

• 微细加工
• 微机械
• 微机电
• 微电子

微细加工技术是现代加工技术手段的新发展,是二十一世纪关键技术之一。本文介绍了微机械与微细加工技术的发展过程、技术特点以及相关理论基础,并具体阐述了微细加工技术的应用、发展的意义、存在的问题及发展要求。

• 单位
  四川大学