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微细加工技术的发展及应用
作者:李建勋; 胡晓兵; 杨洋
来源:
现代机械
, 2007, (04): 76-78.
DOI:10.3969/j.issn.1002-6886.2007.04.033
微细加工
微机械
微机电
微电子
摘要
微细加工技术是现代加工技术手段的新发展,是二十一世纪关键技术之一。本文介绍了微机械与微细加工技术的发展过程、技术特点以及相关理论基础,并具体阐述了微细加工技术的应用、发展的意义、存在的问题及发展要求。
单位
四川大学
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