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摘要
为在高气压下获得稳定的大体积辉光放电等离子体，将微空心阴极放电(MHCD)作为等离子体阴极获取电子源，引入第2阳极设计为微空心阴极维持放电(MCSD)发生装置，实验研究了微空心阴极维持辉光放电的放电图像、伏安特性曲线以及气压、第1和第2阳极间距以及第2阳极偏置电压对MCSD放电特性的影响。在此实验条件下可以获得长度为3～5 cm，体积高于10 cm3，电子数密度为1011 cm–3量级的辉光放电等离子体。实验结果表明，随着阴极电流的增加，源自MHCD和第2阳极方向的辉光放电逐渐向放电轴向中心处汇聚，并最终形成MCSD放电。MCSD的形成为MHCD放电与第2阳极辉区放电相互作用的过程。MCSD放电中存在明显的迟滞效应，MCSD湮灭电流明显小于击穿阈值电流。第2阳极偏置电压对MCSD的击穿阈值的影响较大，但是对湮灭电流的影响较小。第2阳极偏置电压越低，MCSD放电的迟滞效应越明显。
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