具有辐射聚合能力的HfO_2/SiO_2溶胶-凝胶玻璃的制备及其X射线光刻性能研究

作者：赵福华; 谢永军; 许素莲; **; 付绍军

来源：高等学校化学学报, 2006, (07): 1376-1379.

• HfO2/SiO2
• 溶胶-凝胶
• 辐射聚合
• 光栅 HfO_(2)/SiO_(2)
• Sol-gel
• Radiation polymerization
• Grating

采用溶胶-凝胶方法制备了一种新颖的具有辐射聚合能力的H fO2/S iO2凝胶薄膜.并采用X射线作曝光光源对薄膜进行了曝光,通过FTIR的测试,分析了薄膜曝光前后的结构变化.结果表明,该材料具有良好的辐射聚合能力.采用XPS分析了薄膜的成分,并证实了H f元素的存在.用椭偏仪测试了薄膜的折射率,结果证实,加入H fO2提高了体系的折射率.利用其辐射聚合能力,采用X射线通过掩模板进行曝光,利用曝光部分与未曝光部分在溶剂中的溶解度差,在薄膜上制备了高为0.8μm、周期为1μm的衍射光栅,进一步证实了材料具有良好的辐射聚合能力.

• 单位
  中国科技大学; 材料与化工学院; 长春理工大学