摘要

采用低压熔铸法制备了氧化锆增强熔融硅陶瓷。研究了氧化锆的加入对熔融硅陶瓷的微观结构、抗热震性、机械强度、室温和高温介电性能的影响。实验结果表明,熔融硅陶瓷的热震次数随着氧化锆添加量的增加显著提高后再减少,当氧化锆添加量为15%(质量分数)时,熔融硅陶瓷的热震次数达到30次,比不含氧化锆的熔融硅陶瓷提高了20次。机械强度高度依赖于陶瓷的微观结构,氧化锆的加入显著提高了熔融硅陶瓷的机械强度。15%(质量分数)氧化锆增强石英陶瓷的弯曲强度和断裂韧性分别达到114 MPa和2.1 MPa·m-2,比纯熔融硅分别提高了74%和48%。随着氧化锆含量的增加,熔融硅陶瓷产品的室温介电常数略有升高。但随着氧化锆含量的增加,介电损耗降低。更重要的是,氧化锆对熔融硅陶瓷产品优异的高温介电性能影响不大。