摘要
为获得满足刻透化铣胶膜但不伤及钛合金基体的激光刻型工艺参数和一般规律,以AC850激光刻型胶为涂覆层材料,通过设计析因实验研究了工艺参数中激光功率、刻型速度、激光频率等刻蚀深度的影响;结合材料的烧蚀阈值,选取不同激光刻型工艺参数、氩气保护条件与自然条件下进行刻型实验,利用显微镜检测每条刻线刻型质量和影响规律。结果表明,激光刻型功率、刻型速度、激光频率对刻型质量都会产生一定影响,主要取决于激光能量密度决定(0.424~1.67 J/cm2);在激光功率6 W和刻型速度800 mm/s(即能量密度0.4244 J/cm2)条件下,激光刻线的上下边沿都保持良好的刻线边缘质量。激光平均功率与刻型深度存在线性正相关关系、激光刻型速度与刻型深度存在线性负相关、激光频率受到激光功率影响对刻型存在一定影响,相同进给速度和激光平均功率的参数下,激光的脉冲频率对刻线的质量有较大影响;激光刻型中氩气保护对激光刻型质量无明显的影响。
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单位北京航空航天大学; 自动化学院; 沈阳黎明航空发动机有限责任公司