扫描投影光刻机电气安全诊断系统的设计与实现

作者：潘菊凤; 纪松林; 谢仁飚; 孙嘉伟; 李笑天

来源：电子工业专用设备, 2020, 49(01): 15-49.

• 光刻机
• 安全与诊断
• 以太网控制自动化技术
• 用于过程控制的对象连接和嵌入

针对扫描投影光刻机电气安全互锁与智能诊断需求,设计了一套数据采集与监视控制系统。该系统以安全处理盒作为主要电气硬件结构,以倍福嵌入式工业PC作为主站,PLC I/O模块配置从站,采用GENESIS64组态监控软件、EtherCAT现场总线与OPC标准协议,实现了光刻机在整机控制层面上的电气安全设计以及实时诊断,为光刻机的安全运行提供了智能决策与可靠保障。