为满足狭小空间内温度快速测量的需求，研制了一种基于钨铼（W-5%Re/W-26%Re）材料的薄膜热电偶。使用磁控溅射技术，分两次将感光性浆料曝光并粘附至陶瓷基底靶材上，最后使用剥离工艺去胶，得到最终的样件，并在完成制备后，对样件进行静态标定和动态性能测试。实验结果表明研制的钨铼薄膜热电偶静态稳定性较好，其时间常数为400μs级。论文研制的钨铼薄膜热电偶具有耐高温高精度等优点，可以满足温度快速测量需求。
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