Nikon光刻机激光步进对准系统研究

作者：罗涛

来源：电子与封装, 2019, 19(08): 44-47.

DOI：10.16257/j.cnki.1681-1070.2019.0812

• 对准
• LSA
• 标记
• 指标

介绍了Nikon光刻机最常用的对准方式,即激光步进对准(LSA)。从基本的光学系统出发,介绍了LSA在Nikon光刻机中的作用,搜索和增强型全局对准(EGA),详细阐述了LSA的工作原理及其对工艺的影响,最后介绍了LSA对准系统的技术指标和作用。