浅谈超纯氩气工艺流程设计

作者：董涛; 苏耀华; 蔡晋; 任少科; 姜涛; 张宏雷; 高天龙

来源：低温与特气, 2021, 39(05): 26-37.

• 超纯氩气
• 工艺流程
• 设计

对超纯氩气的工艺流程设计进行了探讨,包括低温泵、汽化器的选型,纯化器、充装位及真空系统的设计等。