快速响应的微型色谱柱及GC谱线拟合方案

作者：王晓雨; 王卓然; 陈裕欣; 王艳芳^*; 侯中宇^*

来源：微纳电子技术, 2022, 59(05): 432-444.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2022.05.007

• 微型色谱柱
• 硅基底
• 双面抛光片
• 气相色谱(GC)
• 快速响应

采用激光刻蚀技术加工1 mm厚硅双面抛光片实现了蛇形沟道布局的微型色谱柱嵌刻基底，经涂覆固定相、封装后加工制作成新型嵌刻基底的微型色谱柱。该工艺具有加工周期短、成本低的优势。该新型色谱柱在甲醇与二氯甲烷的混合物的分离实验中能够快速响应，二氯甲烷和甲醇的保留时间分别为0.943 min和4.547 min。针对气相色谱(GC)谱线存在的色谱重叠峰问题，采用Nelder-Mead算法进行高斯曲线拟合，选择MATLAB函数通过迭代找到最优解，该算法结构简单，能够分离出清晰的高斯峰。该拟合方案对双高斯峰的重叠色谱图拟合度达到0.977,误差率为2.482%。

• 单位
  上海交通大学; 微米/纳米加工技术国家级重点实验室