溅射参数对合金表面硬质膜层性能影响的研究现状

作者：付恩天; 彭建洪^*; 李海宾

来源：热加工工艺, 2020, 49(20): 15-18.

DOI：10.14158/j.cnki.1001-3814.20200728

• 磁控溅射
• 溅射参数
• 合金
• 硬质膜层
• 耐磨性
• 耐蚀性

为了增强合金表面的耐磨性和耐蚀性,提高合金的使用寿命,磁控溅射硬质膜层近年来受到广泛的研究。介绍了磁控溅射技术的原理及特点,综述了磁控溅射技术制备硬质膜层的研究进展。结合近年来的实验研究,综述了溅射参数对硬质膜层性能的影响研究。对磁控溅射技术制备硬质膜层的发展进行了展望。

• 单位
  青海民族大学; 电子信息工程学院