一种新颖的基于MEMS技术的光读出热成像系统性能分析与制作

作者：冯飞; 焦继伟; 熊斌; 王跃林

来源：红外与毫米波学报, 2004, (02): 125-130.

• 微电子机械技术
• 光读出热成像
• Fabry-Perot微腔红外探测器列阵
• 噪声等效温差 micro electro mechanical system(MEMS)
• optically readable thermal imaging
• Fabry Perot Micro Cavity Infrared Detector Array
• noise equipment temperature difference

提出了一种新颖的光读出红外热成像系统设计 .该系统利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像 ,其核心部件是一个基于微电子机械技术 (MEMS)制作的法布里 泊罗 (Fabry Perot)微腔红外探测器列阵 (F PMCIRDA) .通过对Au/SiNx双材料体系的理论分析 ,得出了可动微镜的最大热 机械灵敏度、机械 光灵敏度及其温度响应分别为 6 .4 7× 10 -9m/K、1.5 3× 10 8m-1、2 .0 5× 10 -4.对系统噪声分析表明 :在目前的设计中 ,系统的噪声等效温差 (NETD)为 5 .1K ,而其极限值有望达到 5 8mK .采用体硅MEMS工艺 ,制...

• 单位
  中国科学院上海微系统与信息技术研究所; 传感技术国家重点实验室