针对硅晶圆和芯片制造领域的缺陷检测系统

来源：今日电子, 2018, (08): 72.

<正>这两款全新缺陷检测产品可在硅晶圆和芯片制造领域中针对先进技术节点的逻辑和内存元件,为设备和工艺监控解决两项关键挑战。Voyager 1015系统提供了检测图案化晶圆的新功能,包括在光刻胶显影后并且晶圆尚可重新