铝基片变薄,平面度控制成为硬盘制造中的难点。为了更好地控制铝基片在制造过程中的平面度,运用TRIZ理论对铝基片退火工艺进行了分析。通过对退火工装进行功能分析并将关键问题梳理、分析后,将退火工程系统组件之间的冲突问题转化成技术矛盾和物理矛盾模型并分别应用矛盾矩阵和分离原理求解,得到了有效降低平面度的方案。最终实施方案通过增大退火工装支撑杆V型槽底部宽度、缩短退火时间及针对不同厚度的铝基片退火来调整风机对流空气功率的大小三种方案,均取得显著的效果,铝基片平面度得到明显改善。
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