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摘要
在外界流体环境微扰动影响下,声表面波(surface acoustic wave)微压力传感器相关参数会发生改变,影响测量数据。文中使用有限元分析方法,建立一种声表面波与流体域耦合模型。通过COMSOL软件仿真,分析对比数据结果,发现在0～300 MHz频率范围内,施加温度为293.15 K的流体传热物理场时,声表面波传播位移与主应力均受影响,不稳定波动幅度达到0～1.2 mm。研究结果表明,该耦合模型能够有效分析流体作用时SAW传感器传播数据状态变化,有助于研究SAW微流体领域非线性误差问题及其后续修正补偿方法。
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