摘要
微滴喷射技术可用于芯片制造、医学、生物工程等对微滴质量要求准确、稳定的领域,采用传统人工介入方式实现微滴的质量调节,生产效率低.设计了一种微滴喷射控制及质量校验设备,能够根据用户需求自动实现微滴质量的匹配与控制,并与电子秤、气动膜片式喷嘴组成微滴喷射控制及质量校验系统.实验结果表明,该设备及其组成的系统能够通过多点喷射方法达到单滴微滴质量0.01mg及以上的要求,且误差在3%以内,可以满足微滴喷射自动化工业控制需要.
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单位淮阴师范学院