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摘要
用扫描电子显微镜搭载的有窗X射线能谱仪（EDS能谱）对荧光样品进行分析时，由于电子束的激发作用，样品受激自发产生的荧光将严重干扰EDS能谱探头对特征X射线的分析，最终导致定量困难甚至难以定性.新型无窗EDS能谱由于其优异的低能量端信号采集与分析能力，结合单颗粒小区域采集的方法，可以成功实现荧光样品的正常EDS能谱分析.由于无窗EDS能谱仪没有传统薄膜窗口的吸收作用，其最低可分析元素为锂.通过优化加速电压，并借助样品表面钝化膜的保护作用，克服了背景噪音与样品污染的干扰，成功实现对单质锂的检测.
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