厚膜氢气传感器设计

作者：文吉延; 刘玺; 刘志远; 刘洋; 周明军; 金鹏飞

来源：传感器与微系统, 2020, 39(06): 92-94.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2020)06-0092-03

• 厚膜
• 氢气传感器
• 丝网印刷工艺

报道了一种基于厚膜工艺的氢气传感器。首先采用丝网印刷工艺制作铂加热器线条,再在其上面分别覆有纳米催化剂/氧化铝形成气敏元件、涂覆纳米氧化铝构成补偿元件,最后制成氢气传感器。测试结果表明:传感器灵敏度大于21 m V/1%H2,响应时间小于30 s,非线性和重复性优于2%。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十九研究所