离子注入机分析器模型的自动调束控制方法

作者：孙勇; 钟新华; 杨亚兵

来源：电子工业专用设备, 2021, 50(02): 15-17.

• 离子注入机
• 质量分析器
• 磁场测量与校准
• 自动调束

采用系统辨识方法获得离子注入机分析器精确模型,然后将系统模型作为分析器控制器的前馈控制,提前预测控制输出,提高控制器的响应速度,并在此基础上增加反馈控制通道,用来修正模型误差和外界干扰。最后,将此控制方法应用于CIP300型离子注入机研发,自动调束的效率和成功率都有较大提升。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十八研究所