基于小孔阵列的并行激光共焦显微检测技术研究

作者：涂龙; 余锦; 樊仲维; 王志昊; 黄科; 葛文琦; 聂树真; 郭广妍; 王昊成

来源：光电子-激光, 2013, (10): 1989-1994.

DOI：10.16136/j.joel.2013.10.012

• 并行共焦显微检测技术
• 小孔阵列
• 三维图像重构
• 形貌测量 parallel confocal microscopy
• pinhole array
• 3Dimage reconstruction
• shape measurement

为了对微纳加工工件进行三维形貌测量,建立了基于小孔阵列的并行激光共聚焦显微检测系统。利用自行研发的三波长皮秒脉冲激光加工机在面积为1cm2的铜箔上制备100×100的小孔阵列,以实现并行分光,小孔的平均直径为43.6μm,间距为100μm。利用小孔阵列系统,分别对镀膜平板和螺钉进行了三维测量。实验结果表明,在轴向平移台步距为1μm的条件下,本文系统能对待测样品实现轴向分辨率为1μm、横向分辨率为20μm的三维扫描并重构出样品形貌。本文共焦显微检测方法能大大提高共焦扫描速度,能很好满足一般工业检测需求,本文为并行共焦探测技术提供了一条新的研究和运用方法。

• 单位
  中国科学院大学; 中国科学院光电研究院