设计了一种基于Marx的三电极脉冲电源。采用磁环隔离驱动方案和双MOSFET驱动电路,实现了在三电极负载下同时输出正负高压脉冲。分析了电路的运行方式,搭建了32级脉冲电源,并设计了一种针板电极和DBD电极结合的三电极负载,实现了总输出电压13 kV,脉宽10μs,频率1 kHz,且输出电压、脉宽可调。实验验证了该电源方案在三电极负载下的可行性。