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摘要
针对配置气体动态稀释比的气体校准仪中，温度的变化会影响气体的密度，从而影响它们通过质量流量控制器的质量流量，若不能实时采集温度稀释比会有较大的误差。本文利用四线制温度传感器PT100、外部激励恒流源、抗混叠滤波电路、24位Δ-ΣADC组成的系统来测量气体室内的温度，恒流源激励PT100将温度信号转换为电压信号，然后通过Δ-ΣADC转换为数字信号，最后通过主控芯片FPGA进行数据采集并存储在Nor Flash芯片中。实测实验表明设计的系统测温分辨率可达0.05℃,重复性好，并且解决了引线电阻、自热效应、温度测量范围小的问题，具有一定的工程应用价值。
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