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摘要
基于高次谐波体声波谐振器(HBAR)的一维纵向振动模型,研究了获得工作在某一谐振频率HBAR的几种频率修正方法,即减薄基底或顶电极,或在其表面沉积薄膜,并讨论了频率修正前后其有效机电耦合系数(K■)和机械品质因数(QM)的变化情况。结果表明,对于该文结构的HBAR,减薄基底的频率修正方法最佳,其对K■和QM的影响最小;若选择沉积薄膜法进行频率修正,其对K■的影响不大,但对QM的影响较大,故宜选择沉积低损耗的材料。
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单位声场声信息国家重点实验室; 中国科学院声学研究所; 武汉纺织大学
