日立扫描电镜真空系统的维护

作者：潘桂玲^*

来源：真空科学与技术学报, 2019, 39(09): 811-814.

DOI：10.13922/j.cnki.cjovst.2019.09.12

• 扫描电镜
• 真空系统
• 油扩散泵
• 机械泵
• 真空油
• 维护

电镜真空体系对确保仪器正常运行和图片质量十分重要。本文介绍了日立扫描电镜的真空系统的组成及在运行中出现的故障和故障消除的方法,为实现扫描电镜的正常工作提供了有利保障。

• 单位
  南开大学