薄膜型锑化铟霍尔元件芯片测试系统的设计与实现

作者：欧琳; 王静; 林兴; 惠一恒; 赵勇; 赖陆屹; 胡鹏飞; 王广才^*

来源：自动化与仪器仪表, 2021, (02): 93-99.

DOI：10.14016/j.cnki.1001-9227.2021.02.000

• 锑化铟
• 霍尔元件
• 芯片
• 晶圆测试
• 手动探针台

针对薄膜型锑化铟霍尔元件芯片性能测试,设计了一套霍尔元件芯片测试系统。系统主要由手动探针台、显微镜、探针卡、外加磁场、PLC以及测试软件组成,可以进行霍尔元件芯片的输入和输出电阻、不平衡电压以及霍尔电压的测试。测试系统稳定性好,重复度高,测试误差较小。手动探针台操作简单,测试方便,灵活性强,可分别测试4英寸硅片和3英寸铁氧体衬底制备的薄膜型锑化铟霍尔元件芯片,以较低成本满足了霍尔元件芯片研发过程中芯片测试的需求。

• 单位
  天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室; 南开大学