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摘要
本发明公开了一种跨尺度视觉超精密运动测量装置及方法,该装置包括有图像传感器、孔径光阑、成像透镜组、同轴光源、分光镜、定位平台、编码板以及DSP与ARM集成信号处理系统。本方法中,通过合理选取线性反馈移位寄存器的位数和周期大λ并进行周期性编码,DSP与ARM信号处理系统对图像进行预处理操作后,驱动静态随机存储器进行图像缓存；对缓存的图像执行二维傅立叶变换,并进行相关的线性相位处理；根据线性相位处理获得的相位数据,识别局部图像上相应的二进制序列；将识别好的局部二进制序列到编码板的二进制序列进行查表定位,根据周期相位测量的相位常数进行精定位。
- 单位
