线性微波化学气相沉积制备AlOx/SiNx双层薄膜及钝化性能的研究

作者：**; 巴德纯; 张振厚; 赵崇凌

来源：真空, 2016, 53(03): 7-11.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2016.03.02

• 线性微波化学气相沉积
• 氧化铝薄膜
• 氮化硅薄膜
• 有效少子寿命

通过线性微波化学气相沉积技术在P型单晶样品上制备了AlOx/SiNx双层薄膜,采用场发射电子扫描显微镜、光学椭圆偏振仪器、有效少子寿命测量仪对实验样品进行了表征和分析。结果表明,线性微波化学气相沉积技术可以制备出高生长速度、高质量的AlOx薄膜和SiNx薄膜,AlOx薄膜生长速度达到了180nm/min,SiNx薄膜生长速度达到了135nm/min;经过AlOx/SiNx双层薄膜钝化的P型单晶硅有效少子寿命达到了2300μs,且经过800℃产线烧结工序,少子寿命下降幅度很低,热稳定性优异。

• 单位
  中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司; 自动化学院; 东北大学