三波长单脉冲纳秒激光损伤CCD实验研究

作者：张鑫; 牛春晖; 马牧燕; 秦绪志; 张亚男

来源：应用激光, 2020, 40(02): 300-307.

DOI：10.14128/j.cnki.al.20204002.300

• 单脉冲激光
• 损伤阈值
• CCD
• 损伤机理

开展了波长分别为1 064 nm、532 nm和416 nm,脉宽均为5 ns的单脉冲激光损伤CCD的实验,观测并比较了不同损伤阶段三种波长激光各自损伤CCD的视频图像、微观形貌、阈值和芯片引脚的电阻阻值,分析了CCD的损伤机理。在532 nm和416 nm激光所损伤CCD视频输出图像中发现了并未出现在1 064 nm激光所损伤CCD视频输出图像中的黑点现象;CCD发生损伤时,微透镜层的损伤状况随辐照激光波长减小而愈加严重;1 064 nm激光损伤CCD的阈值最高,532 nm和416 nm激光损伤CCD的阈值相近。与未损伤的CCD相比,完全失效CCD的基底与垂直移位寄存器的电阻、垂直移位寄存器间的电阻明显下降,由此推断,基底与多晶硅电极的短路或多晶硅电极间的短路是造成CCD白屏的主要原因。

• 单位
  北京信息科技大学