硫化时间对两步硫化法制备ZnS薄膜性能的影响

作者：张超; 张仁刚^*; 杨光; 曹兴忠; 张鹏; 王宝义

来源：武汉科技大学学报, 2022, 45(02): 93-98.

DOI：10.3969/j.issn.1674-3644.2022.02.003

• ZnS薄膜
• 磁控溅射
• 硫化时间
• 晶体结构
• 光透过率
• S/Zn原子比

首先采用磁控溅射法在玻璃衬底上沉积Zn薄膜,再先后于200℃和400℃温度下对Zn薄膜进行硫化处理以制备ZnS薄膜,借助X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱仪(EDS)、紫外-可见分光光度计等研究了硫化时间对所制ZnS薄膜性能的影响。结果表明,ZnS为六方晶体结构,在200℃及400℃和硫化时间均为1 h的条件下,所制ZnS薄膜的结晶性、光学性质、S/Zn原子比及组织均匀性最佳。

• 单位
  武汉科技大学; 中国科学院高能物理研究所