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摘要
针对双层气浮运动平台中气浮支承动力学参数设计问题,分析了气浮支承动力学参数的一般规律,提出了减小双层气浮平台同步误差的设计原则,并通过两种不同双层气浮平台动力学性能设计方案验证了所提出的设计原则。研究结果表明:选择和设计气足时需综合考虑多方面因素,包括气足承载力、刚度和阻尼参数的合理设计,设计时为了避免产生共振应遵循气足固有频率远离工作频率和平台结构频率的设计原则;当气浮平台对同步特性有需求时,双层气浮平台的气足固有频率应该相等,使双层平台具有相同的动力学性能,对干扰和驱动指令具有相同的响应特性,从而保证两者的同步精度。
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单位华中科技大学; 数字制造装备与技术国家重点实验室
