非晶态SiO_2过渡层上高C轴取向LiNbO_3薄膜的PLD生长

作者：何军辉; 朱骏; 毛翔宇; 陈小兵; 叶志镇

来源：四川大学学报(自然科学版), 2005, S1: 434-436.

• LiNbO_3薄膜
• c轴取向
• 光波导
• PLD技术
• 硅基 LiNbO_3 film
• c-axis orientation
• waveguiding
• PLD technique
• Si wafer

利用脉冲激光沉积(PLD)技术在单晶硅衬底的非晶态Si O2过渡层上外延生长了具有优良结晶品质和高度c轴取向性的Li NbO3光波导薄膜.利用X射线衍射、高分辨电镜和原子力显微镜等手段对Li NbO3薄膜的结晶品质和c轴取向性等进行了系统的分析,确定了薄膜c轴外延生长的最佳沉积参数.非晶态Si O2过渡层上的Li NbO3薄膜由尺度约为150×150nm的四方柱状c轴取向的单晶畴紧密排列而成,并且具有陡峭的界面结构.此外,对于Li NbO3薄膜在非晶过渡层上择优取向生长的物理机制和薄膜基底效应进行了初步探讨,提出其生长机制很可能符合光滑晶面上三维岛状成核生长的Vol mer模式.

• 单位
  硅材料国家重点实验室; 扬州大学