多晶硅生产过程中氢气回收和纯度提升的研究

作者：陶睿

来源：山西化工, 2020, 40(06): 62-70.

DOI：10.16525/j.cnki.cn14-1109/tq.2020.06.21

• 多晶硅
• 氢气
• 膜分离
• 变压吸附

多晶硅生产过程中既要补充大量氢气,又存在严重的氢气损耗问题。根据国内一些大型多晶硅生产企业实际生产情况,提出了采用膜分离和变压吸附的联合工艺,并对放空氢的回收和提纯进行研究,通过实验优化,得到了最优的工艺参数,为下一步放大设计提供了依据。