一种氧化铟锡薄膜图案的制备方法

作者：彭俊彪; 朱宇博; 徐华; 徐苗; 李民

来源：2021-04-09, 中国, CN202110383560.X.

本发明公开了一种氧化铟锡薄膜图案的制备方法。氧化铟锡薄膜图案的制备方法包括：提供基板；在基板的表面形成氧化铟锡薄膜；对氧化铟锡薄膜进行均匀化处理；对氧化铟锡薄膜进行图案化刻蚀。本发明达到了制备低电阻、高精细的氧化铟锡薄膜图案的效果。

• 单位
  华南理工大学