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摘要
本发明公开了一种单质靶高通量制备SmCo合金永磁薄膜的方法,通过线切割的方法将圆形单质金属靶(Sm、Co、Fe、Cu等)切割为60°或30°的扇形,通过使用不同的拼接方式,可调整金属比例以及合金成分,使用磁控溅射系统在衬底上镀出成分呈连续梯度变化的合金薄膜,且通过不同过渡金属的切割拼接能实现多组分元素的掺杂,通过高通量表征筛选可快速获得特定成分的SmCo合金永磁薄膜。此方法基于高通量实验,可一次性制备与表征多组不同成分的薄膜样品,实现SmCo合金永磁薄膜的高效率、低成本的材料制备与材料设计。
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