多晶硅片或单晶硅片是光伏产业链中太阳能电池片生产的基板材料。近年来,光伏产业的迅猛发展极大地促进了硅片制造技术和装备的飞速发展。文中介绍了当前晶体硅太阳能电池用硅片制备的主要工艺,并对其中的关键技术及发展状况进行了论述。