多晶硅太阳能电池PECVD四层氮化硅减反射膜工艺

作者：韩锦明

来源：电子制作, 2017, (24).

DOI：10.3969/j.issn.1006-5059.2017.24.037

• 太阳能电池
• PECVD
• 四层膜工艺电池

管式PECVD系统是一组利用平行板镀膜舟和高频等离子激发器的系列发生器,在低压的情况下,等离子发生器直接在镀膜板间介质的中间发生反应,所用的活性气体为硅烷SiH4和氨气NH3,然后硅原子与氮原子以一定的比例沉积到硅片表面形成一层氮化硅(SixNy)薄膜,起到减反射和钝化的作用,同时对提高多晶硅太阳能电池的光电转换效率起着关键性的作用.文章结合实际测量以156.75×156.75样品规格金刚线

• 单位
  海南英利新能源有限公司