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摘要
针对面向大模数齿轮嵌入式位移传感器分辨力较低的问题，提出了一种级联嵌入式高分辨力时栅位移传感器。利用级联效应将结构优化后的嵌入式时栅位移传感器按照一定规则的空间角度组合，实现次级行波信号与前级行波信号相叠加，即在一个齿距内次级传感信号的位移量为初级传感信号的2倍，以此提升嵌入式时栅位移传感器的分辨力。通过对磁场式时栅位移传感器测量原理的分析，建立了级联嵌入式时栅位移传感器数学模型；利用有限元仿真实验得出与理论分析相同的结果，向位移量中插入更多的时钟脉冲序列可提升分辨力；搭建实验平台验证了次级传感单元分辨力比初级传感单元分辨力提升43%,传感器稳定性提高了75%。
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