MEMS工艺制备pH-ISFET/REFET功能膜研究

作者：汪祖民; 韩泾鸿; 任振兴; 杨海钢; 夏善红

来源：电子器件, 2007, (03): 741-744.

• 离子敏场效应管
• 功能膜
• 微电子机械系统
• 五氧化二钽
• 聚四氟乙烯 ion sensitive field effect transistor
• functional membrane
• micro electromechanical system
• Ta2O5
• PTFE

微电子技术的快速发展,促使硅基传感器向着集成化、微型化、可批量加工方向发展.对于pH-ISFET集成芯片而言,如何以MEMS工艺制备性能优良的pH功能膜,是其发展的关键.目的:以适合批量加工的MEMS工艺研制pH功能膜;方法:在小尺寸集成芯片的基础上,以MEMS工艺分别制备Ta2O5材料的pH敏感膜,PTFE材料的pH钝化膜;结果:在pH1～12范围内,Ta2O5膜pH-ISFET对H+的灵敏度达56mV/pH,PTFE膜REFET对H+的响应仅为0.13mV/pH;结论:采用MEMS工艺,可对以标准CMOS技术加工的ISFET集成芯片系统,进行后续加工,从而实现传感器芯片系统的全过程批量加工...

• 单位
  中国科学院电子学研究所; 传感技术国家重点实验室; 中国科学院研究生院