一种宽量程MEMS组合加速度计的设计与优化

作者：赵耀; 张伟

来源：传感器世界, 2021, 27(06): 10-17.

DOI：10.16204/j.cnki.sw.2021.06.003

• MEMS加速度计
• 零位漂移
• 补偿算法

为满足大量程低温漂的MEMS加速度计性能需求,研制了一款宽量程MEMS组合加速度计,并完成了量程、线性度、交叉耦合、分辨率性能参数的测试。针对加速度计在高低温工作环境中的零漂过大的问题,分析了影响因素,设计了一种零位温度补偿算法给出解决方案。实验结果表明:零位温度补偿算法实现了加速度计在-45～+85℃温度范围内零点漂移小于3 mV,满足项目需求。

• 单位
  北京信息科技大学