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摘要
差动式平行极板变极距电容式传感器应用广泛，但由于其存在差动电容器极板初始极距不同的问题，导致差动电容值非线性误差增大，影响了其测量精度。首先，基于差动式平行极板变极距电容器的工作原理，分析了误差产生机理；采用最小二乘法建立了误差分析模型，引入差动加权系数构建误差校正表达式，然后，利用线性拟合和残差平方和分析法求解差动加权系数的数值，进而对电容测量数据进行误差校正。仿真分析证明了误差校正方法的准确性和可行性。实验结果表明：使用该误差校正方法的非线性误差为2.79%,与直接差动法的非线性误差9.80%相比，非线性误差降低了71.53%,验证了该误差校正方法的有效性。
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