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摘要
微间距放电特性是影响设备微型化发展的重要因素之一，为深入探究微间距放电在不同环境下的特性，搭建试验平台，进行了微间距不同气压气体放电及沿聚酰亚胺薄膜(PI)表面放电试验。在1～100 kPa气体放电试验中，发现电极间距大于10μm时的击穿电压随气压的走势与间距小于10μm时的走势存在较大差异，主要原因是电极间距小于10μm时，击穿过程受到离子增强场致发射效应影响。间距大于10μm时，击穿电压随气压变化的敏感度与电极间距成正相关；而间距小于10μm时，由于碰撞电离程度较低，其敏感度显著降低，且随着气压的升高而下降。大气压下对比纯气隙与沿PI表面放电，电极间引入PI薄膜后，击穿电压有了一定的降低，相较于纯气隙放电，沿面击穿电压对电极间距的敏感度更低。
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单位自动化学院; 河南理工大学
