利用正交实验制备金刚石薄膜及其场发射的研究

作者：高金海; 张洁; 李成刚; 张兵临; 崔颖琦

来源：电子器件, 2021, 44(02): 507-512.

• 微波等离子体化学气相沉积
• 正交实验
• 微米金刚石薄膜

场发射阴极金刚石薄膜的制备方法有很多,利用微波等离子化学气相沉积的方法制备薄膜,文中详细介绍了正交分解法实验制备金刚石薄膜的过程。并对薄膜进行扫描电镜、拉曼光谱、X射线实验,分析了其形貌与结构;用场发射二级结构研究薄膜的场发射性能,简单分析了金刚石薄膜的成因和场发射性能。

• 单位
  郑州师范学院; 电子工程学院