压电驱动器的开闭环迭代学习控制

作者：李朋志; 闫丰; 葛川; 李佩玥; 隋永新; 杨怀江

来源：光学精密工程, 2014, 22(02): 414-419.

• 压电驱动器
• PZT
• 开闭环
• 迭代学习控制
• 迟滞

由于开闭环迭代学习控制方法能在加快收敛速度的情况下降低跟踪误差,本文利用该控制方法来提高压电驱动器(PZT)的高频轨迹跟踪精度。首先,提出了离散时间下的开环P型结合闭环PI型的迭代学习律,并且给出了基于该学习律的收敛性条件。然后,设计了用于PZT系统的离散开闭环迭代学习控制器。最后,针对50Hz单频和25Hz+50Hz复频三角波轨迹进行了跟踪控制实验。实验结果表明:所提出的迭代学习控制器对上述2种轨迹的最大跟踪误差分别为10.6nm和12.5nm,相对于PID控制器,分别降低了96.25%和95.62%。结果显示:提出的控制方法易于实现,无需准确的PZT迟滞和系统模型就可以获得很高的跟踪精度,能有效地满足高频和复频轨迹跟踪的精度要求。

• 单位
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室